“儀器設(shè)備處于工業(yè)的核心地位，提高儀器設(shè)備水平，充分發(fā)揮其作用，才能促進(jìn)半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)發(fā)展，并走向世界前沿。”中國(guó)科學(xué)院院士褚君浩在8月10日舉辦的第11屆(2023年)中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上表示。

半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)發(fā)展勢(shì)頭良好

半導(dǎo)體設(shè)備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石。近年來(lái)，國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在關(guān)鍵領(lǐng)域取得了進(jìn)展，材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現(xiàn)出快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。

中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)、北方華創(chuàng)董事長(zhǎng)趙晉榮表示，10余年來(lái)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)發(fā)展，尤其是近幾年，中國(guó)本土設(shè)備取得了較大進(jìn)步。

數(shù)據(jù)來(lái)源：浙商證券研究所

根據(jù)中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的統(tǒng)計(jì)，2022年，77家規(guī)模以上半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷(xiāo)售收入累計(jì)完成593億元，同比增長(zhǎng)53.6%。其中，前10家設(shè)備制造商完成銷(xiāo)售收入438億元。

中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書(shū)長(zhǎng)金存忠表示，今年1—6月，主要半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額在減少，國(guó)內(nèi)企業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備訂單在增長(zhǎng)。預(yù)計(jì)2023年，本土的半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額將增長(zhǎng)38%左右。

數(shù)據(jù)來(lái)源：SEMI

睿歷科學(xué)儀器（上海）有限公司總經(jīng)理兼首席執(zhí)行官楊峰表示，當(dāng)前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)應(yīng)把握發(fā)展機(jī)遇，首先在成熟工藝領(lǐng)域，新興的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)有機(jī)會(huì)成為主力軍；其次在高階制程領(lǐng)域，只要加快研發(fā)進(jìn)度和技術(shù)迭代，還是有機(jī)會(huì)趕上的?！?/p>

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半導(dǎo)體設(shè)備廠商仍面臨諸多難題

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司董事長(zhǎng)兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，半導(dǎo)體設(shè)備要超前半導(dǎo)體制造3~5年開(kāi)發(fā)新一代產(chǎn)品，雖然我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)過(guò)不斷地努力，已經(jīng)取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步，但外國(guó)設(shè)備仍占國(guó)內(nèi)設(shè)備采購(gòu)的85%左右。

思銳智能副總經(jīng)理陳祥龍向《中國(guó)電子報(bào)》記者介紹其高能離子注入設(shè)備

李晉湘同時(shí)指出，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備廠商正面臨三個(gè)挑戰(zhàn)：一是缺乏某類(lèi)設(shè)備，不能形成體系化生產(chǎn)流程；二是設(shè)備齊全，但特殊工藝要求無(wú)法滿(mǎn)足；三是設(shè)備和工藝雖然完善，但關(guān)鍵工藝不穩(wěn)定、不可靠。

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司總經(jīng)理王堅(jiān)也表示，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額的成長(zhǎng)速度飛快，從2008年的17億元，增長(zhǎng)到了2022年的593億元。雖然取得如此大的成績(jī)，但是與全球市場(chǎng)規(guī)模相比還是很小，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商仍面臨很多難題。